Home
For authors
Submission status

Current
Archive (English)
Archive
   Volumes 61-80
   Volumes 41-60
   Volumes 21-40
   Volumes 1-20
   Volumes 81-88
      Volume 88
      Volume 87
      Volume 86
      Volume 85
      Volume 84
      Volume 83
      Volume 82
      Volume 81
Search
VOLUME 85 | ISSUE 3 | PAGE 197
Электронная структура α-Al2O3: ab initio моделирование и сравнение с экспериментом
Т. В. Перевалов, А. В. Шапошников, В. А. Гриценко, Х. Вонг+, Ж. Х. Хан*, Ч. В. Ким*

Институт физики полупроводников Сибирского отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия
+Electronic Engineering Department, City University of Hong Kong, Tat Chee Avenue, Hong Kong, Korea
*Memory Division, Semiconductor Business, Samsung Electronics Co. Ltd, 449-711 San24, Nongseo-Dong, Kiheung-Gu, Yongin-City, Kyunggi-Do, Korea


PACS: 71.20.Ps, 72.80.Sk, 75.15.Mb, 77.84.Bw
Abstract
Методом ALD получены пленки Al2O3 толщиной 150 Å на кремнии и изучены рентгеновские XPS и ультрафиолетовые UPS фотоэлектронные спектры валентной зоны. Неэмпирическим ab-initio методом функционала плотности рассчитана электронная зонная структура корунда α-Al2O3 и сопоставлена с результатами экспериментов. Валентная зона α -Al2O3 состоит из двух подзон, разделенных ионной щелью. Нижняя зона сформирована, в основном, 2s-состояниями кислорода. Верхняя зона сформирована 2p-состояниями кислорода с вкладом 3s-, 3p-состояний алюминия. Наблюдается сильная анизотропия эффективной массы для дырок - m^*_{h\perp}\approx6.3m_o, m^*_{h\|}\approx0.36m_0. Значение эффективной массы электронов не зависит от направления m^*_{e\|}\approx m^*_{e\perp}\approx0.4m_0.


Download PS file (GZipped, 663.4K)  |  Download PDF file (557K)


Список работ, цитирующих данную статью, см. здесь.

List of articles citing this article can be found here.