|
|
| VOLUME 86 | ISSUE 9 |
PAGE 657
|
| Влияние размера наночастиц на свойства емкостного высокочастотного разряда |
И. В. Швейгерт, Ф. М. Питерс+
Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича Сибирского отд. РАН 630090 Новосибирск, Россия
+Университет г. Антверпен, B-2020 Антверпен, Бельгия
|
PACS: 52.27.Lw
|
Abstract
Свойства емкостного ВЧ разряда с растущими наночастицами исследуются
с использованием кинетического моделирования методом PIC-MCC. Показано, что на
начальной стадии роста наночастицы располагаются на границе приэлектродного
слоя и квазинейтральной плазмы, где скорость ионизации электронным ударом
имеет максимальное значение. В начале формирования частиц параметры плазмы
резко меняются, и при некотором критическом размере частиц наблюдается
переход между емкостной и объемной модами горения разряда. При дальнейшем
росте пылевых частиц их распределение по разряду становится более однородным,
и установившиеся параметры газоразрядной плазмы практически не меняются.
|
|
|
Download PS file (GZipped, 395.8K)
|
Download PDF file (375.6K)
|
|
Список работ, цитирующих данную статью, см. здесь.
List of articles citing this article can be found here.
|
|
Home