|
|
| VOLUME 89 | ISSUE 2 |
PAGE 80
|
| Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния |
П. Г. Сенников, С. В. Голубев, В. И. Шашкин+, Д. А. Пряхин+, М. Н. Дроздов+, Б. А. Андреев+, Ю. Н. Дроздов+, А. С. Кузнецов*, Х.-Й. Поль
Институт прикладной физики РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия
+Институт физики микроструктур РАН, 603950 Нижний Новгород, Россия
*ЗАО «Астор", 188663 пос. Кузьмоловский, Ленинградская область, Россия
VITCON Projeсtconsult GmbH, D-07743 Jena, Germany
|
PACS: 52.77.Dq, 61.46.Hk, 73.63.Bd, 81.07.Bc
|
Abstract
Сообщается о результатах получения слоев кремния методом
плазмохимического осаждения в системе тетрафторид кремния - водород.
Образцы исследованы методами рентгеновской дифракции, рамановской
спектроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии. По фазовому составу
слои представляют собой нанокристаллический кремний с размером
кристаллических областей от 3 до 9 нм в зависимости от условий проведения
процесса. Образцы обладают интенсивной фотолюминесценцией при
комнатной температуре.
|
|
|
Download PS file (GZipped, 311.3K)
|
Download PDF file (392.9K)
|
|
Список работ, цитирующих данную статью, см. здесь.
List of articles citing this article can be found here.
|
|
Home