Home For authors Submission status Current Archive (English) Archive    Volumes 81-88    Volumes 41-60    Volumes 21-40    Volumes 1-20    Volumes 61-80       Volume 80       Volume 79       Volume 78       Volume 77       Volume 76       Volume 75       Volume 74       Volume 73       Volume 72       Volume 71       Volume 70       Volume 69       Volume 68       Volume 67       Volume 66       Volume 65       Volume 64       Volume 63       Volume 62       Volume 61 Search

VOLUME 74 | ISSUE 4 | PAGE 234 Формирование субмикронных цилиндрических структур при воздействии на поверхность кремния компрессионным плазменным потоком В. В. Углов, В. М. Анищик, В. В. Асташинский, В. М. Асташинский+, С. И. Ананин+, В. В. Аскерко+, Е. А. Костюкевич+, А. М. Кузьмицкий+, Н. Т. Квасов*, А. Л. Данилюк* Белорусский государственный университет, 220080 Минск, Беларусь +Институт молекулярной и атомной физики НАН Беларуси, 220072 Минск, Беларусь *Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, 220013 Минск, Беларусь PACS: 52.40.Hf, 68.35.Bs, 79.20.Rf Abstract Получены субмикронные цилиндрические структуры на поверхности монокристалла кремния при воздействии на него компрессионным плазменным потоком. Внутри модифицированного слоя кремния обнаружена периодическая структура из нормально ориентированных к поверхности каналов, период расположения которых соответствует размещению поверхностных образований. Download PS file (GZipped, 53.6K)  |  Download PDF file (150.4K)